Xps峰拟合原理

1.将复制的数据转换为TXT格式:将所需拟合元素的数据导入Origin后，将A列和B列的值复制到一个空的记事本文档中(即两列格式，左边是结合能，右边是峰)并保存。如果要去脉冲数据或者截取部分数据，需要在Origin做好。

2.打开XPS峰，导入数据:点击数据-导入(ASCII)，导入存储的数据，会出现相应的XPS谱图。

3.选择背景:单击背景。因为软件问题，最好不要改变高BE和低BE的位置，否则无法回原点。这时候背景会把这两点联系起来。类型可以根据实际情况选择，一般选择雪莉型。

4.添加峰值:在添加峰值点出现一个小方框。在峰型处选择S、P、D、F等峰型(一般选择S)。当需要将所需的峰位固定在该位置时，也可以用同样的方法选择定点前的小方框，如半峰宽(FWHM)和峰面积。

每个项目中的约束可用于确定该峰和另一个峰之间的关系。比如Pt4f7/2和Pt4f5/2的峰间距可以固定为45，峰面积比可以固定为4:3。单击删除峰以删除该峰。然后单击添加峰选择第二个峰，依此类推。

5.拟合:选择好待拟合的峰数和近似参数后，点击最佳区域进行拟合，观察拟合后的总峰与原峰的重合度。如果不好，多次点击最优区域。

6.参数查看:拟合完成后，点击0，1，2等。在另一个窗口的“区域峰”下查看每个峰的参数。此时，变红的XPS峰是选定的峰。如果您对区域的拟合结果不满意，您可以更改这些峰的参数，然后单击优化。

7.单击保存XPS保存图片。下次要打开Open XPS，可以打开此图片继续处理。

8.数据输出:点数据――带峰参数打印可以打印出每个峰参数的谱图，通过峰面积可以计算出该元素在不同峰位的化学状态的含量比。

单击〖数据〗――导出到剪贴板，图表和数据都将被复制到剪贴板。打开文档(如Word文档)，点击【粘贴】，图表和数据将被粘贴。

点击数据――导出(光谱)保存拟合后的数据，然后在Origin中从多栏数据栏打开得到多栏数据，在Origin中制作拟合图。

xps峰分裂的意义。

在XPS手册中，有每个元素的峰位置和化学键结构的图表。根据这个图标，你可以对测得的数据进行处理，比如你做的氮化硅，但是里面有少量的氧化硅，所以你的Si2p峰位既不是标准的氮化硅，也不是标准的氧化硅。这就需要你使用origin或者xpspeakfit等软件对得到的Si2p峰进行峰值化。

也就是用两个或三个以上的高斯峰来拟合得到的测试曲线，根据每个高斯峰的面积来确定有多少Si元素与O结合形成Si-O键，多少与N结合形成Si-N键。